本装置由双球校准室、取样系统、静态配气系统、四极质谱计、吸气剂泵、分子泵系统等组成,可对气体分压力(质谱计)进行测试校准。
技术特点:
l 极限真空好
l 高精度的配气系统
l 高性能的静态膨胀室
l 高性能的抽气系统
技术参数:
JZZ2 | |
校准范围 amu | 1~300 |
极限真空 Pa | 2×10-9(校准室) |
5×10-8(静态膨胀室) | |
校准室直径 mm | Sφ350 |
静态膨胀室容积 L | 100 |
主抽泵 | 分子泵、吸气剂泵 |
真空测量 | 分离规 |
校准室加热装置 | 有 |
校准室加热温度范围℃ | 室温~300 |
温度测量传感器 | PT100 |
选配附件:
配气系统: | |
高精度标准样气配气装置 | 定制 |