本装置由四极质谱计、球形校准室、分子泵系统、微调阀进样等组成，可对四极质谱计进行测试校准。校准室及管道真空脱气处理，降低系统本底对校准参数的影响。
可以选配高精度的标准样气配气装置，用于四极质谱计的校准。
技术参数：
JZZ1 | |
校准范围amu | 1~200 |
极限真空Pa | 5×10-6 |
校准室直径 mm | Sφ350 |
校准室接口 | 3×DN 40 CF |
校准器 | 高性能四极质谱计 |
校准器测量下限 | 5×10-15mbar（分压力） |
校准器灵敏度 | 1×10-4A/mbar |
主抽泵 | 分子泵 |
真空测量 | 电离计 |
校准室加热装置 | 有 |
校准室加热温度范围℃ | 室温~250 |
温度测量传感器 | PT100 |
装置不确定度 | 10% |
选配附件：
配气系统： | |
高精度标准样气配气装置 | 定制 |
