名称:Screw Vacuum Pumps DRYVAC 系列螺杆干泵
Screw Vacuum Pumps DRYVAC 系列螺杆干泵:LV80(C)、LV140(C)
DRYVAC DV450/DV650/DV650-i/DV650-r/DV1200/DV1200S-i/DVR5000C-i
(RS-i)
DRYVAC 泵为干式压缩真空泵。DRYVAC 650 S 和S-r 是一个螺杆泵,DRYVAC 1200 S 是
两个并联的螺杆泵,DRYVAC 5000 RS-i 是罗茨泵和螺杆泵的组合。DRYVAC sprinter 和enduro
型号泵在压力>100 毫巴时的抽气速度已经优化。因此这些泵的抽气时间短。这些型号的泵尤其适用于
快速短周期循环操作,例如进片室(Load Lock)。
此外,DRYVAC enduro 型号泵拥有适合加工工业应用的所有特点,比如配有气镇阀。
DRYVAC champion 系列中的各型号泵设计能够在苛刻的工艺负荷下保证运行可靠性。DRYVAC
champion 系列泵已被优化,能够处理PV 和FPD 工业中产生的典型气体。这些泵因设计合理而性能优
异,能满足工业安全要求。这些泵配备了能对转子进行吹扫(气镇)以及对轴封进行吹扫的吹扫气系统。
所有Dryvac 泵基本上配备了相同的电机,所需的变频器或者内置于泵上(机载),或者单独提供
需另外安装在控制架上(S-r 型号)。
所有Dryvac 泵已准备好直接与Ruvac 罗茨泵连接。
泵为水冷,使用合成油或PFPE 润滑。
部分技术参数:
抽速:80 ~ 5000m3/h
极限真空度:< 5×10-4mbar
噪音:65dB
冷却方式:水冷
vacuum H
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