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当前位置：首页 > 产品中心   >  INFICON（英福康）   >  INFICON 检漏仪  
      名称：UL1000型氦质谱检漏仪
    UL1000型氦质谱检漏仪，灵活的测试性能，高灵敏度，快速与精确的结果，其中离子源保修期为三年，超强的I.CAL专利智能化漏率计算程序，测试的灵敏度可达到1.00*10-12mbar.L/s，广泛的应用于半导体工艺设备的维护，标准漏空的测试与校准，电子元器件超强的检漏模式，要求高抽速，高灵敏度以及清洁条件的应用场合。
    INFICON检漏仪在洁净室中制造。所用的全部元件包括阀门与软管均是无油的，并在无油的条件下组装与测试。
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